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针对MEMS加速度传感器测试方法不统一,测试要求多样化的问题,对加速度传感器按照量程进行细化,从测试方法和测试系统入手,研发出一套多量程的MEMS加速度计静态和动态及其温度特性的综合测试系统,搭建了一个多形态MEMS加速度传感器的统一测试平台,适应不同类型加速度传感器的测试需求,从而提升测试效率,降低测试成本,缩短研发测试周期,有助于MEMS传感器产业的迅速发展。