【摘 要】
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日本电子开发并销售ＳＥＭ“ＪＷＳ - 875 5”用于 30 0ｍｍ圆片的在线 (Ｉｎ -Ｌｉｎｅ)圆片缺陷分析评价装置。随着加工工艺的微细化 ,用缺陷检出装置检出的缺陷ＳＥＭ分析 (用ＳＥＭ观察圆片上图形的缺陷 )是成品
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日本电子开发并销售ＳＥＭ“ＪＷＳ - 875 5”用于 30 0ｍｍ圆片的在线 (Ｉｎ -Ｌｉｎｅ)圆片缺陷分析评价装置。随着加工工艺的微细化 ,用缺陷检出装置检出的缺陷ＳＥＭ分析 (用ＳＥＭ观察圆片上图形的缺陷 )是成品率管理中必需的作业 ,并期待分析自动化。本装置就在是这种背
JEOL Ltd. develops and markets the SEM “JWS-875 5” In-Line Defect Analysis and Evaluation System for 300 mm wafers. With the miniaturization of the processing technology, defect SEM analysis (observation of defects on the wafer on the wafer by SEM) detected by the defect detection device is an essential operation in yield management and the analysis is expected to be automated. This device is in this kind of back
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