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简要介绍了集成电路虚拟工厂系统Taurus Workbench.对亚微米n沟MOS工艺的特点进行了分析.在Taurus Workbench环境下进行亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化,优化结果印证了新工艺条件对器件性能的改善.
基于Taurus Workbench的亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化
【摘 要】
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简要介绍了集成电路虚拟工厂系统Taurus Workbench.对亚微米n沟MOS工艺的特点进行了分析.在Taurus Workbench环境下进行亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化,优化结果印证了
【机 构】
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山东大学信息科学与工程学院
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2003年3期
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