【摘 要】
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研究了低重复频率飞秒激光在石英玻璃内部诱导的自组织纳米条纹与激光参数和扫描参数的关系，发现激光扫描轨迹横截面纳米光栅的填充因子随扫描参数而变化。在一定的写入窗口，纳米光栅具有偏振依赖导光特性，属于II类波导；实验研究了六边形结构II类波导的导光特性，与重复频率为100 kHz的飞秒激光光刻波导规律具有相似性；理论上构建了II类波导和六边形结构横截面折射率轮廓的理想模型，利用有限元方法分析了II类波导及六边形结构的模式，并从实验上和理论上说明了II类波导的偏振依赖导光性不是由于纳米光栅的形序双折射，而是由于
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,陕西西安710119中国科学院大学,北京100049四川大学激光物理与化学研究所,四川成都610064
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研究了低重复频率飞秒激光在石英玻璃内部诱导的自组织纳米条纹与激光参数和扫描参数的关系，发现激光扫描轨迹横截面纳米光栅的填充因子随扫描参数而变化。在一定的写入窗口，纳米光栅具有偏振依赖导光特性，属于II类波导；实验研究了六边形结构II类波导的导光特性，与重复频率为100 kHz的飞秒激光光刻波导规律具有相似性；理论上构建了II类波导和六边形结构横截面折射率轮廓的理想模型，利用有限元方法分析了II类波导及六边形结构的模式，并从实验上和理论上说明了II类波导的偏振依赖导光性不是由于纳米光栅的形序双折射，而是由于纳米光栅的偏振依赖散射。
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