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本文通过电子显微技术对金属氧化物的畴结构进行静态表征,并对其微观力学形变机理进行研究.(1)利用电子衍射和球差校正透射电子显微技术,对Mg-Al-O的畴结构以及原子尺度界面构型进行分析,实验结果表明阳离子空位的有序是形成MgAlxOy相的可能原因;(2)利用原位电子显微技术研究了量子限域尺度ZnO结构的稳定性及CuO纳米线的滞弹性,揭示了应力诱导的ZnO的可逆结构相变过程以及空位迁移诱导的CuO结构相变.论文结果有助于理解金属氧化物复杂缺陷结构与性能之间的关联.