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根据硅材料的特性以及太阳能、电子工业对硅材料纯度的特殊要求，采用陶瓷凝胶注模成型技术，对原材料、料浆的配制、成型和烧成等过程研制9999％高纯硅坩埚进行了讨论，并将该技术与其它成型方法做了比较。介绍的高纯硅坩埚为提高坩埚法制备高纯硅的质量开辟了一条新途径。
99．99％高纯硅坩埚的研制
【摘 要】
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根据硅材料的特性以及太阳能、电子工业对硅材料纯度的特殊要求，采用陶瓷凝胶注模成型技术，对原材料、料浆的配制、成型和烧成等过程研制9999％高纯硅坩埚进行了讨论，并将该技术与
【机 构】
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中国轻工业陶瓷研究所
【出 处】
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中国陶瓷
【发表日期】
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2007年6期
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