【摘 要】
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通过研究等温化学气相渗透（ICVI）工艺的主要影响因素,如渗透温度、前驱气体组分比与流速等,对制件密度的影响规律,为ICVI制备碳化硅复合材料提供了优化的工艺参数。实验表明：渗
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通过研究等温化学气相渗透（ICVI）工艺的主要影响因素,如渗透温度、前驱气体组分比与流速等,对制件密度的影响规律,为ICVI制备碳化硅复合材料提供了优化的工艺参数。实验表明：渗透温度为1050℃,炉压为6666.2Pa（50乇）,反应气体配比Ar/CH3SiCl3（MTS）约为10,仅渗透3h表面的渗透厚度便接近20μm,密度略有增加,渗透效果较好。
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