用混合测量法检正微米组量块

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立式接触干涉仪常用于比较测量法测量量块,人们较少考虑混合测量法的应用。在没有正微米组标准量块而只有83块组标准量块情况下,运用混合测最法,可使正9块微米组量块和46块组中同种规格微米块的检测问题得到解 Vertical contact interferometer is commonly used in comparative measurement measuring block, people less consider the application of mixed measurement method. In the case of no standard meter block and only 83 standard block samples, the mixed detection method can be used to solve the detection problems of the same specification micron block in the nine micron blocks and the 46 blocks
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