【摘 要】
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金属氧化物半导体气敏传感器是气体传感器领域研究的热点内容,而微热板作为金属氧化物半导体气体传感器的重要组成部分之一,对微热板结构及稳态热特性的研究至关重要。为了研究不同结构参数对微热板性能的影响,为微热板的设计优化提供指导,基于微机电系统（MEMS）工艺技术,设计了一种悬浮式结构微热板,对微热板支撑层和隔离层的材料组成、膜层厚度等因素进行了仿真研究。根据仿真结果,分析上述因素对微热板性能的影响趋势
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目（2018YFC0809300）；
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金属氧化物半导体气敏传感器是气体传感器领域研究的热点内容,而微热板作为金属氧化物半导体气体传感器的重要组成部分之一,对微热板结构及稳态热特性的研究至关重要。为了研究不同结构参数对微热板性能的影响,为微热板的设计优化提供指导,基于微机电系统（MEMS）工艺技术,设计了一种悬浮式结构微热板,对微热板支撑层和隔离层的材料组成、膜层厚度等因素进行了仿真研究。根据仿真结果,分析上述因素对微热板性能的影响趋势,得出了最优的参数设计。
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