【摘 要】
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基于分形天线和微电子机械系统（MEMS）工艺,设计了一款超宽带柔性梯形环分形天线,适用于柔性电子设备和可穿戴设备。采用共面波导的方式对天线进行馈电,利用分形结构改变电流路径,使阻抗匹配极大改善,实现了超宽带性能。在最外层梯形环结构上加载弧形边缘,可以进一步改善天线在2.7～14.1GHz频段内的回波损耗。天线以柔性材料聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为介质基板,采用MEMS工艺加工,金属部分两次溅射成
【机 构】
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中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（52175555）;国家自然科学基金创新群体资助项目（51821003）； 山西省高等学校中青年拔尖创新人才资助项目； 山西省重点研发项目（国际合作）（201803D421043）； 山西省“1331工程”重点学科建设基金资助项目；
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基于分形天线和微电子机械系统（MEMS）工艺,设计了一款超宽带柔性梯形环分形天线,适用于柔性电子设备和可穿戴设备。采用共面波导的方式对天线进行馈电,利用分形结构改变电流路径,使阻抗匹配极大改善,实现了超宽带性能。在最外层梯形环结构上加载弧形边缘,可以进一步改善天线在2.7～14.1GHz频段内的回波损耗。天线以柔性材料聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为介质基板,采用MEMS工艺加工,金属部分两次溅射成型,具有精度高和超宽带性能稳定的特点。制作的天线相对带宽可达157.2%（2.36～19.7GHz）,在共形于20mm半径的圆柱后,天线最低工作频率向右偏移460 MHz,但仍具有稳定的超宽带特性。在天线的工作频率内,柔性梯形环天线的辐射方向图稳定,测试结果与仿真结果一致性较好。
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