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本文阐述了把BF2离子团作为一种受主杂质在器件中的应用。认为在半导体器件工艺中,BF2离子团不仅可以代替B离子掺杂,而且由于损伤“吸杂”,可获得比注B离子低二～三个数量级PN结漏电流;由于BF2引出束流比B离子束流大几十倍的特点,使BF2离子团成为一种很好的受主掺杂剂。
BF2离子注入在器件中的应用
【摘 要】
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本文阐述了把BF2离子团作为一种受主杂质在器件中的应用。认为在半导体器件工艺中,BF2离子团不仅可以代替B离子掺杂,而且由于损伤“吸杂”,可获得比注B离子低二～三个数量级PN
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1983年06期
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