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采用磁控溅射法制备了glass／ITO／NiOx／ZrO2：H／WO3／ITO全薄膜电致变色器件，并对单层膜的结构及性能进行了研究．器件中NiO x 、ZrO2：H和WO3各单层薄膜的SEM、XRD以及XPS的测试结果表明：NiO x 薄膜表面颗粒之间有孔隙存在，这些空隙有利于 H＋的嵌入和脱出；而ZrO2：H薄膜和WO3薄膜的表面粗糙，颗粒度较小，这样的表面形貌有利于电致变色反应的发生．采用紫外‐可见光分光光度计对器件的光学性能及循环寿命进行研究，器件经历60000次连续着褪色循环后，着色响应时间明显迟缓，褪色响应时间变化不显著，在可见光范围内的透过率调节范围仍可以达到57．9％，表明该器件具有良好的可见光调制性能和较长的循环寿命，初步达到了商业化应用的要求．