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采用低温三步共蒸发法在柔性聚酰亚胺衬底上制备了铜铟镓硒（CIGSe）薄膜，利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪表征了CIGSe薄膜的结晶质量和晶体结构，探讨了低温沉积工艺中第二步和第三步衬底温度与薄膜晶粒尺寸、织构取向和结晶性能的关系。结果表明：随着第二步和第三步衬底温度同时升高，CIGSe薄膜的晶粒尺寸逐渐增大，镓的两相分离现象逐渐消失；保持第二步衬底温度不变，随着第三步衬底温度进一步升高，cIGse薄膜的晶粒尺寸继续增大，薄膜的结晶质量显著改善；第二步和第三步衬底温度的变化对CIGSe薄膜的织构取向基本没