双层厚膜结构改善气敏元件灵敏度和选择性研究

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiuki
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研究了厚膜印刷技术制备的双层膜结构气敏元件的灵敏度和选择性。测量结果表明:在二氧化锡(SnO2)单层膜下再添加一层纳米三氧化钨(WO3)材料厚膜,可以提高气敏元件对酒精、丙酮、甲醛、甲苯还原气体的灵敏度和选择性。当浓度为900×10(-6)时,将SnO2覆盖在WO3之上形成双层膜时,较两种材料对应的单层膜灵敏度均有所提升。因此,双层厚膜结构为改善元件的灵敏度和选择性提供了一种可行的方法。初步认为,双层膜的作用与膜的上、下排列顺序有很大的关系,也与双层界面间由于扩散效应所形成的过渡层有关。
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