硅微加速度计温度特性分析与误差补偿

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环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响,并最终影响导航系统的精度。因此,准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响,并建立温度补偿模型,对于实际工程应用至关重要。在-20-60℃温度区间,通过实验得到微加速度计的零偏与标度因数,并采用线性拟合与Lorentz曲线拟合构建了温度补偿模型,后者使测量结果的稳定性精度提高了1个数量级,具有较好的实际应用价值。
其他文献
制备了锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电射流沉积(EJD)技术,在硅衬底上沉积了PZT厚膜。研究了电射流沉积高度、流量及悬浮液混合条件对厚膜致密性的影响。结果表明:降低电射流沉积高度