超导磁通量子比特的制备及Al/AlOx/Al隧道结特性参数

来源 :科学通报 | 被引量 : 1次 | 上传用户：liying09

【摘要】

：

超导量子比特作为利用约瑟夫森结实现量子位的方案之一,具有易集成、易与外界耦合等优点.用双层光刻胶通过深紫外光曝光制备悬空掩膜结构,Al作为超导材料,采用电子束斜蒸发及静态氧化的方法制备了超导磁通量子比特样品.通过对Al薄膜厚度与平整度关系分析,选取60 nm作为隧道结底层Al厚度,增加蒸发源到样品衬底间的距离,提高了Al薄膜平整度,降低了隧道结漏电流.通过透射电子显微镜分析,观测到Al隧道结三层结

【作者】

：

王林许伟伟翟计全李晓虎孙国柱吴培亨

【机构】

：

南京大学电子科学与工程学院

【出处】

：

科学通报

【发表日期】

：

2014年27期

【关键词】

：

超导磁通量子比特 Al/AlOx/Al超导隧道结静态氧化透射电子显微镜分析势垒层厚度薄膜平整度漏电比

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划（2011CBA00107,2011CBA00202）；国家自然科学基金（61371036,11234006,11227904）；江苏省自然科学基金（BK2012013）；中国工程物理研究院太赫兹重点实验室基金（CAEPTHZ201206）资助；

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