【摘 要】
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本文采用光弹力学中的Ｓｅｎａｒｍｏｎｔ补偿法，用红外光弹仪测量并分析了单面扩散、双面扩散工艺在硅衬底中引入应力的分布规律及产生机理。研究了双源补偿扩散法掺杂技术消除应力的可行性及工
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本文采用光弹力学中的Ｓｅｎａｒｍｏｎｔ补偿法，用红外光弹仪测量并分析了单面扩散、双面扩散工艺在硅衬底中引入应力的分布规律及产生机理。研究了双源补偿扩散法掺杂技术消除应力的可行性及工艺条件。
In this paper, we use the Senarmont compensation method in photoelasticity to measure and analyze the distribution and mechanism of stress introduced into Si substrate by single-sided diffusion and double-sided diffusion. The dual-source compensation diffusion method of doping technology to eliminate the feasibility of stress and process conditions.
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