【摘 要】
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利用MOD法在电阻率为5～6 Ω·cm的n-Si(100)衬底采用旋转甩膜工艺制备了Sm0.85Bi3.15Ti3O12(SBT-0.85)铁电薄膜,研究了薄膜的结晶性能和电学性能.结果表明,在700℃下退火1
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利用MOD法在电阻率为5～6 Ω·cm的n-Si(100)衬底采用旋转甩膜工艺制备了Sm0.85Bi3.15Ti3O12(SBT-0.85)铁电薄膜,研究了薄膜的结晶性能和电学性能.结果表明,在700℃下退火1 h得到的Sm0.85Bi3.15Ti3O12薄膜具有良好的铁电、介电和绝缘性能.在±5 V的范围内,电容-电压(C-V)曲线记忆窗口宽度为3.6 V;在室温1 000 kHz下,其介电常数为45,介电损耗为0.04;在3 V电压下,薄膜的漏电流为3×10-8A.
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