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对新型微纳流控结构进行了分析，对相关材料进行了改进设想，对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究，并给出了实体照片反映其生长机理；从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析，并给出了相关模拟结果。
微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究
【摘 要】
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对新型微纳流控结构进行了分析，对相关材料进行了改进设想，对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究，并给出了实体照片反映其生长机理；从功能理解角度对有限元分析软件之
【机 构】
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上海电子信息职业技术学院电子工程系,复旦大学,华东师范大学信息学院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2008年7期
【基金项目】
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上海市科教委“上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金”（2006041012）
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