【摘 要】
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提出了一种解决SU 8 去胶难题的方法.该方法首先将SU- 8 微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海交通大学微纳米科学技术研究院 薄膜与微细技术教育部重点实验室
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提出了一种解决SU 8 去胶难题的方法.该方法首先将SU- 8 微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具.通过该方法制备得到了深宽比达到10的金属模具,而且模具表面光滑,侧壁垂直.
A method to solve the problem of de-gumming SU8 was proposed. Firstly, the SU-8 microstructure was replicated with PDMS, and then the replicated PDMS microstructure was used for the next electroforming. After the electroforming was completed, the PDMS The metal mold can be released after being peeled off, the metal mold with the aspect ratio up to 10 is prepared by the method, and the surface of the mold is smooth and the side wall is vertical.
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