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测量了应力前后GaAs PHEMT器件电特性的退化，指出了GaAs PHEMT阈值电压的退化由两个原因引起，栅极下AlGaAs层深能级的空穴积累可以解释阈值电压漂移中暂时性的、可恢复的那部分，积累在栅金属与半导体之间界面层的空穴可以解释阈值电压漂移中永久性的漂移，空穴积累来源于场助作用下电子的退陷和沟道中碰撞电离产生的空穴向栅极流动时被俘获，对高场下碰撞电离率的实验曲线进行拟合，得到碰撞电离率与器件沟道电场峰值的量化关系，可以对GaAs PHEMT器件的电性能和可靠性进行评估。