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考虑膜中应变随位置的变化，应用Pertsev热力学理论，研究了BaTiO3薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度，介电常数随沉积温度的降低而增大，计算结果与实验数据较好地吻合。
梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响
【摘 要】
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考虑膜中应变随位置的变化，应用Pertsev热力学理论，研究了BaTiO3薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度，介电
【机 构】
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河南科技大学理学院
【出 处】
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河南科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2009年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（10574066）,河南省教育厅自然科学研究项目（2007140004）
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