双氧水对溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的影响

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以氧氯化锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源,采用溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜。借助SEM、DTA-TG、FT-IR、XRD等分析测试手段研究了添加双氧水(H_2O_2)对制备硅酸锆薄膜的影响,并研究了薄膜的抗腐蚀性能。结果表明:适量的双氧水可以有效地促进氧氯化锆的水解,进而克服薄膜高温失重造成孔洞和致密性差的问题;当H_2O_2/Zr的摩尔比小于2时,制备的薄膜不致密、不均匀;当H_2O_2/Zr的摩尔比大于2时,制备的样品有杂质相;最优的H_2O_2/Zr摩尔比为2,可制得均匀、致密的硅酸锆薄膜;所制备的薄膜具有
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