【摘 要】
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择优取向的介电薄膜是介电材料研究中的热点.利用溶胶-凝胶法在金属和单晶基底上沉积了择优取向的钛酸锶介电薄膜,并利用扫描电镜Inlens探头对其微观结构进行了直接观测.Inle
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择优取向的介电薄膜是介电材料研究中的热点.利用溶胶-凝胶法在金属和单晶基底上沉积了择优取向的钛酸锶介电薄膜,并利用扫描电镜Inlens探头对其微观结构进行了直接观测.Inlens探头对于样品表面原子层的信息非常敏感,对于导电性较差的薄膜,不需进行常规的喷金或喷碳处理,即可直接观测,大大提高了分析效率.利用二次电子像探头和Inlens探头分别对半导体性的SrTiO3薄膜的微观结构进行对比分析发现,Inlens探头的分辨率明显优于二次电子探头的.在20万倍的放大倍数下,仍能清晰观测到薄膜的表面和截面结构.
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