硅微悬臂梁谐振器的电激电拾方法研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wjk123465

【摘要】

：

采用电热激励、压电拾取方法对硅微机械悬臂梁的谐振性能进行了实验研究.成功实现了对硅微悬臂梁谐振器前三阶振型的实验测试.电热激励利用在硅微机械悬臂梁表面优化设计的热

【作者】

：

刘月明田维坚刘君华

【机构】

：

西安理工大学,中国科学院西安光学精密机械研究所,西安交通大学

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2003年6期

【关键词】

：

硅微机械悬臂梁电热激励压电拾取谐振特性 silicon micro-cantilever electro-thermal excitation piezo

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采用电热激励、压电拾取方法对硅微机械悬臂梁的谐振性能进行了实验研究.成功实现了对硅微悬臂梁谐振器前三阶振型的实验测试.电热激励利用在硅微机械悬臂梁表面优化设计的热激励电阻加以实现.为拾取硅微悬臂梁的微弱谐振信号,在硅微悬臂梁表面优化设计并制作了压敏电阻全桥,利用压敏电阻的压电效应实现对谐振微弱信号的拾取.

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