利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuhuiru871124

【摘要】

：

利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性,设计一种以金属铂薄层为加热器,叉指状金薄层为信号电极,SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件.利

【作者】

：

张彤李春明刘丽徐宝琨

【机构】

：

吉林大学电子科学与工程学院

【出处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

微热板有限元分析 ANSYS 温度场响应速度 MHP(micro-hearing plate)FEA(finite element analysis)ANS

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利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性,设计一种以金属铂薄层为加热器,叉指状金薄层为信号电极,SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件.利用有限元分析工具ANSYS,对该硅基微结构气敏元件的加热衬底的温度场进行模拟和分析,根据分析的结果对所设计的气敏元件优化,优化后的气敏元件热损耗将更小,响应速度将更快.

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