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本文简要介绍了适用于8英寸硅片、能够进行扩散、氧化、退火、合金等工艺的立式扩散氧化炉的研制目的、技术路线、关键部件及技术难点.重点介绍了加热炉体及其温度控制、储片台、颗粒控制及设备含氧量的设计及控制.
8英寸立式扩散/氧化炉的研制
【摘 要】
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本文简要介绍了适用于8英寸硅片、能够进行扩散、氧化、退火、合金等工艺的立式扩散氧化炉的研制目的、技术路线、关键部件及技术难点.重点介绍了加热炉体及其温度控制、储片
【机 构】
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北京七星华创电子股份有限公司IC工艺设备研发中心
【出 处】
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电子元器件资讯
【发表日期】
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2004年期
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