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多丝切割是一种新型的硅片切片加工方法,具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。本文论述了多丝切割机的切割加工过程、切割加工机理,提出了加工中的几个要点。
多丝切割技术及其关键
【摘 要】
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多丝切割是一种新型的硅片切片加工方法,具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。本文论述了多丝切割机的切割加工过程、切割加工机理,提出
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2010年06期
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