论文部分内容阅读
夏克-哈特曼波前传感器因其可以同时测量激光的强度及相位信息，已广泛用于激光光束质量检测中。根据实际检测的要求，设计夏克一哈特曼传感器系统的参数是构建检测系统的重要一环。综合考虑了夏克一哈特曼传感器的动态范围、灵敏度和精度等要求及其相互制约问题，进行了夏克一哈特曼传感器的参数设计。说明了具体的指标设计过程，并根据设计指标，研制了激光光束检测系统。系统实际达到的单孔径的动态范围为3．7λ（λ=632．8nm），灵敏度为0．01λ，菲涅耳数为2．468，符合激光光束检测系统的要求。