【摘 要】
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本文介绍一种新型的红外水份、薄膜厚度在线测试仪器。着重分析双光路、多光束、非球面聚光反射镜光路系统及其光学自补偿原理。阐述数据处理器的采样技术和软件工作站的引入
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本文介绍一种新型的红外水份、薄膜厚度在线测试仪器。着重分析双光路、多光束、非球面聚光反射镜光路系统及其光学自补偿原理。阐述数据处理器的采样技术和软件工作站的引入。
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