论文部分内容阅读
微细图形的几何尺寸测量是影响大规模集成电路生产效率和质量的重要问题。作者等在DXY-1型线宽轮廓测量仪上对与微细图形几何尺寸测量精度有关的因素进行了实验研究。实验结果表明,该仪器的重复测量精度优于±0.005μm,对比测量偏差△≤0.02μm。
微细图形几何尺寸测量的实验研究
【摘 要】
：
微细图形的几何尺寸测量是影响大规模集成电路生产效率和质量的重要问题。作者等在DXY-1型线宽轮廓测量仪上对与微细图形几何尺寸测量精度有关的因素进行了实验研究。实验结
【机 构】
：
清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密仪器与机械学系北京100084,北京100084,北京100084
【出 处】
：
计量学报
【发表日期】
：
1993年4期
其他文献
【正】结构主义语言学家索绪尔把语言分为语言和言语两种类别,并提出语言(1angue)、言语(parole)和言语行为(1anguage)三个概念。他指出,语言是某个社会所有成员共有的一种抽
为加强医院用药安全,保障医疗质量和医疗安全,建设医院药师审方平台,实现药师实时审查医生处方管理流程,经过临床药师多重检查及专业干预,提前发现不合理用药问题,从源头降低
餐后不适综合征多因外邪侵袭,饮食不当,情志不遂,劳倦失度,禀赋不足等原因,导致脾胃受损,脾之升运不健,胃之纳降失司,清浊升降无序,胃气壅滞,痞塞不通,进而出现脘痞、饱胀等
量子化霍尔电阻的ＳＩ值的准确测定对进一步改进冯．克里青常数的准确度及国际基本物理常数平差均有重要意义。中国计量科学研究院于１９９４年春用计算电容测定了量子化霍尔电阻的ＳＩ值，测得ｉ＝１时
称之为“世界自行车消费大国”的美国，2004年1～7月总计进口自行车962．37万辆，进口金额为3亿5395．2万美元。自行车进口来源：中国大陆、中国台湾地区、中国香港地区、意大利、加拿大
文中主要讨论西安地铁运营筹备阶段仓储管理存在的问题,并从五个方面分别进行了阐述。为了有效解决问题,共从十四个方面提出整改措施。
目的探讨太极拳对老年稳定性心绞痛患者的影响及机制。方法将2015年10月-2017年3月就诊于我院的100例确诊为稳定性心绞痛的老年患者,按照随机数字表法分为治疗组和对照组,每
鲜食糯玉米营养丰富、适口性好、粘软清香、皮薄无渣,深受广大消费者青睐。为加速优质鲜食糯玉米新品种在新疆推广应用,2012年,新疆农业科学院综合试验场引进10个鲜食糯玉米
介绍了采用标准场法建立的２．４５ＧＨｚ功率度标准装置的构成与测定，提出了一种通过调控放大器电源电压实现饱和输出放大器输出稳定的方法。该标准装置的测量范围为０．０５－０．８０ｍＷ／ｃｍ＾２，不确定度为０．２１ｄＢ。