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半导体激光器线性调频光纤位移测量仪是将半导体激光器线性调频技术与光纤传感技术相结合制成的一种新型外差干涉仪,它结构简单,实用性强,位移测量范围为1 mm;精度优于0.05 μm。
半导体激光器线性调频光纤位移测量仪的研究
【摘 要】
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半导体激光器线性调频光纤位移测量仪是将半导体激光器线性调频技术与光纤传感技术相结合制成的一种新型外差干涉仪,它结构简单,实用性强,位移测量范围为1 mm;精度优于0.05 μm。
【机 构】
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清华大学精密仪器系,北京100084
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1992年19期
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