【摘 要】
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集ＣＭＯＳ与双极器件之优点于一体的ＢｉＣＭＯＳ，将逐渐成为９０年代ＵＬＳＩ的主流技术。本文工艺、器件结构和兼容设计等不同侧面，阐述了ＢｉＣＭＯＳ技术所具有的突出特点及其典型应用，同时还介绍了最新发展的低温ＢｉＣＭＯＳ技术和
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集ＣＭＯＳ与双极器件之优点于一体的ＢｉＣＭＯＳ，将逐渐成为９０年代ＵＬＳＩ的主流技术。本文工艺、器件结构和兼容设计等不同侧面，阐述了ＢｉＣＭＯＳ技术所具有的突出特点及其典型应用，同时还介绍了最新发展的低温ＢｉＣＭＯＳ技术和面临的关键问题。
BiCMOS, which combines the advantages of CMOS and bipolar devices, will gradually become the mainstream ULSI technology of the 1990s. In this paper, the different aspects of the technology, device structure and compatible design are described. The outstanding features and typical applications of BiCMOS technology are described. The latest development of low temperature BiCMOS technology and the key problems are also introduced.
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