【摘 要】
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本文采用等离子体激活化学气相沉积制备了ＳｎＯ_２掺杂透明导电膜，并研究了薄膜的光学和电学性能．制得的薄膜电阻最低约为１７Ω／口，其可见光透射率为８５％以上，红外吸收率为８０％左右；还测得该膜具有负
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本文采用等离子体激活化学气相沉积制备了ＳｎＯ_２掺杂透明导电膜，并研究了薄膜的光学和电学性能．制得的薄膜电阻最低约为１７Ω／口，其可见光透射率为８５％以上，红外吸收率为８０％左右；还测得该膜具有负温阻特性。
In this paper, a SnO_2-doped transparent conductive film was prepared by plasma-activated chemical vapor deposition, and the optical and electrical properties of the film were studied. The lowest sheet resistance obtained was about 17Ω / port, the visible light transmittance of more than 85%, the infrared absorption rate of about 80%; also measured negative temperature resistance of the film.
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