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一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍
一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍
来源 :洁净与空调技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chao19890103
【摘 要】
:
从工艺需求、成本、工期与污染控制的角度出发,检视目前面板厂建厂的设计概念后,提出另外一种LTPS建厂设计的提案构想,以为业界参考。
【作 者】
:
杨政谕
【机 构】
:
亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司
【出 处】
:
洁净与空调技术
【发表日期】
:
2014年3期
【关键词】
:
面板厂
低温多晶硅(LTPS)
建厂
设计提案构想
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从工艺需求、成本、工期与污染控制的角度出发,检视目前面板厂建厂的设计概念后,提出另外一种LTPS建厂设计的提案构想,以为业界参考。
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