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电子束刻蚀啁啾相位掩模板采用的是分步啁啾法，而掩模板制造过程中分步之间的接缝误差是啁啾光纤光栅产生时延纹波的一个重要因素。该文以分步步长1mm，总长度140mm的相位掩模板为例，理论分析和比较了不同接缝误差对啁啾光纤光栅时延纹波的影响。分析表明，最大相位误差为0．05rad和0．08rad时，光栅时延纹波的统计平均分别为14．491ps和22．38ps。进行相关试验研究以上相位掩模板写入光栅的时延特性，得出结论与理论分析一致。