【摘 要】
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采用NaCl助熔剂法合成了钽酸锂及掺铁钽酸锂晶体，分别采用SEM、EDS-Mapping、XPS、XRD、Raman-Mapping、AFM和瞬态光电流测试系统等测试手段对所合成的晶体的微观形貌、元素及成分组成分布、物相组成、应力分布、表面粗糙度、瞬态光电流性能进行了一系列测试研究，测试结果表明所合成的钽酸锂及掺铁钽酸锂晶体元素和成分分布均匀，结晶程度非常高，可机械加工性能良好，抛光后的单晶晶片表
【机 构】
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国家能源集团准能集团神华准能资源综合开发有限公司研发中心
【基金项目】
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项目受神华集团煤炭开采水资源保护与利用国家重点实验室开放基金（20170514）资助；
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采用NaCl助熔剂法合成了钽酸锂及掺铁钽酸锂晶体，分别采用SEM、EDS-Mapping、XPS、XRD、Raman-Mapping、AFM和瞬态光电流测试系统等测试手段对所合成的晶体的微观形貌、元素及成分组成分布、物相组成、应力分布、表面粗糙度、瞬态光电流性能进行了一系列测试研究，测试结果表明所合成的钽酸锂及掺铁钽酸锂晶体元素和成分分布均匀，结晶程度非常高，可机械加工性能良好，抛光后的单晶晶片表面平整光滑，粗糙度小，皆具有良好的光电性能，所合成的钽酸锂晶体表面应力分布均匀，但掺铁钽酸锂晶体表面应力分布不太均匀，存在明显的应力分布集中的区域。
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