【摘 要】
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通过蓝宝石衬底的单面研磨试验研究,分析了W14和W3.5B4C磨粒研磨后蓝宝石表面的微观和宏观形貌,W1484C磨粒加工后蓝宅石表面微观裂纹密集且交错分布,体现了以滚轧和挤压为主
【机 构】
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浙江工业大学浙两分校,衢州,324000;浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310032浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310032
【出 处】
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第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会
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通过蓝宝石衬底的单面研磨试验研究,分析了W14和W3.5B4C磨粒研磨后蓝宝石表面的微观和宏观形貌,W1484C磨粒加工后蓝宅石表面微观裂纹密集且交错分布,体现了以滚轧和挤压为主的材料脆性去除作用,相同条件下,w3.5磨粒加工的蓝宝石表面划痕均匀,表面无微观裂纹,实现了以切削为主的材料延性去除形式。测试分析结果表明：磨粒粒径的选择对蓝宝石的研磨表面状态具有重要影响,其选择准则除考虑要达到的粗糙度等级之外,也同时必须考虑与研磨盘的嵌入作用及其对加工表面状态的影响,w3.5磨粒研磨加工后的蓝宝石表面宏观和微观均匀性良好,表面粗糙度、平面度等符合抛光前道工序的要求。
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