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非常细小的粉末、带有腐蚀性、或者可能在泵的里层形成沉积。半导体所用的真空泵除了耐用外．还必须能在特定的温度范围内运作自如。
Busch:服务于半导体行业的真空技术
【摘 要】
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非常细小的粉末、带有腐蚀性、或者可能在泵的里层形成沉积。半导体所用的真空泵除了耐用外．还必须能在特定的温度范围内运作自如。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年4期
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