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基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计制作
基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计制作
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abc124333
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【作 者】
:
肖素艳
车录锋
李昕欣
王跃林
【机 构】
:
中国科学院,上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050中国科学院,研究生院,北京,100049;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,20005
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2008年2期
【关键词】
:
柔性MEMS
触觉传感器
聚酰亚胺(PI)
聚二甲基硅氧烷(PDMS)
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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