【摘 要】
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本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法.该方法采用频谱分析技术对干涉条纹进行快速傅里叶变换(FFT)和滤波处理,消除了噪声和干扰,获得了清晰的干涉条纹.检测处理后的干涉
【基金项目】
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电子工业部电子科学研究院预研项目
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本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法.该方法采用频谱分析技术对干涉条纹进行快速傅里叶变换(FFT)和滤波处理,消除了噪声和干扰,获得了清晰的干涉条纹.检测处理后的干涉条纹的移动就能准确地测量出位移.采用CCD摄像机、图像卡和计算机,结合本文设计的麦克尔逊干涉仪对压电晶体(PZT)的位移曲线进行了测量.结果表明,该方法能达到极高的分辨率,在总采样点为512,连续测量时,最小分辨率达到1.3nm.
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