【摘 要】
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本文以Ｈ２Ｓ与Ｚｎ为原料，通过化学气相沉积制备了ＺｎＳ块材料。分析了ＺｎＳ的沉积过程机理，研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和Ｈ２Ｓ、Ｚｎ蒸汽、载气Ａｒ流量对ＺｎＳ厚度均匀性的影响规律，提出了改善ＺｎＳ厚度均匀性
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本文以Ｈ２Ｓ与Ｚｎ为原料，通过化学气相沉积制备了ＺｎＳ块材料。分析了ＺｎＳ的沉积过程机理，研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和Ｈ２Ｓ、Ｚｎ蒸汽、载气Ａｒ流量对ＺｎＳ厚度均匀性的影响规律，提出了改善ＺｎＳ厚度均匀性、抑制沉积表面球状物生长的途径。
In this paper, H2S and Zn as raw materials, prepared by chemical vapor deposition ZnS bulk material. The mechanism of ZnS deposition was analyzed. The influence of deposition parameters such as deposition temperature, deposition pressure, H 2 S, Zn vapor and carrier gas Ar flow on the uniformity of ZnS thickness was studied. The improvement of uniformity of ZnS thickness, Way to grow things.
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