PECVD法制备类金刚石薄膜结构和表面形貌分析

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gqkhao

【摘要】

：

以CH4为碳源,Ar气为载气,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在硅(100)衬底上制备了类金刚石(DLC)薄膜。利用拉曼(Raman)光谱仪与原子力显微镜(AFM)对其结构与表面形貌进

【作者】

：

潘德芳苑进社秦国平刘颖丹

【机构】

：

重庆师范大学物理学院重庆市高校光学工程重点实验室

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2010年7期

【关键词】

：

类金刚石薄膜(DLC) PECVD法薄膜结构表面形貌 DLC thin film PECVD method thin film structure surf

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

以CH4为碳源,Ar气为载气,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在硅(100)衬底上制备了类金刚石(DLC)薄膜。利用拉曼(Raman)光谱仪与原子力显微镜(AFM)对其结构与表面形貌进行了表征。结果表明:所制备的DLC薄膜是含sp3和sp2混合键的非晶态碳膜,其表面均匀、光滑、致密;且随着射频功率的提高,薄膜的平均晶粒直径由8.0nm降为4.2nm,粗糙度由2.2nm减为0.9nm。

其他文献

浅议职高生的消极情绪及其转化教育

消极情绪在职高生中普遍存在,有学生自身的原因,也有家庭、学校的原因,针对这一情况,可以用"合理情绪调节法"、培养职高生的意志品质及抗挫折能力等方法进行转化教育.

期刊

职高生消极情绪意志品质抗挫折能力自我意识心理教育

超级电容器新型复合电极材料MnO2／活性MCMB的研究

以Mn（NO3）2、活性中间相碳微球（活性MCMB）为原料，采用KBrO3氧化法，成功制备了MnO2／活性MCMB新型复合电极材料；以该材料制成电极，并以质量分数为30％的KOH溶液为电解液，组装成扣式电容器。

期刊

超级电容器MNO2中间相碳微球(MCMB)复合电极supercapacitor MnO2 mesocarbon microbeads （MCMB） co

（Zn0.3Co0.7）2-W型钡铁氧体电磁特性及吸波性能

采用sol-gel法合成了Ba（Zn0.3Co0.7）2Fe16O27六方铁氧体样品。通过XRD、SEM和Agilent8722ET网络分析仪等表征手段,研究了样品的显微结构、电磁特性及吸波性能。结果表明：在1250

期刊

W型铁氧体电磁特性吸波性能W-type ferrite electromagnetic property microwave absorbing beha

高宝：引领金属包装市场走向新征程——专访高宝（中国）金属包装销售总经理廖镭先生

伴随中国近些年经济和消费的快速增长，作为我国包装业的重要组成部分，金属包装因其良好的密封性和具有的鲜艳图案．在食品、饮料、日化用品和家庭用品行业得到广泛应用，特别是食品

期刊

金属包装印刷市场走向总经理销售中国德国高宝公司包装印刷市场镭

PECVD法制备类金刚石薄膜结构和表面形貌分析

其他学术论文