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微位移装置是指在外力或者电场、磁场等作用下,直接或间接由微结构杠杆放大产生精密微量移动,实现精密定位的装置,例如采用压电陶瓷的逆压电效应、由电压控制产生微位移蠕动。以干涉仪中移相器为典型微位移装置代表,总结多年来科研工作中对微位移装置伸长量的测量与在线标定方法,实现了干涉仪中步长为λ/8（λ=632.8 nm）的准确移相;通过研究基于电容器件的位移反馈,实现了分辨率优于10 nm的精密定位。