【摘 要】
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研究不同时间氢等离子体处理（HPT）氢化非晶硅a-Si:H（i）钝化层对高效晶硅异质结太阳电池（效率＞23%）性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能，但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差，有效少数载流子寿命降低。分析认为HPT时间过长，H原子进入到a-Si:H（i）薄膜层中，导致薄膜内部SiH2增多，微结构因子（R）增大，薄膜质量变差。并且，适当时间的HPT改善太阳电池性能
【机 构】
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中国科学院太阳能热利用及光伏系统重点实验室中国科学院电工研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目（61674151）； 中国科学院战略性先导科技专项A类项目课题（XDA21060500）；
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研究不同时间氢等离子体处理（HPT）氢化非晶硅a-Si:H（i）钝化层对高效晶硅异质结太阳电池（效率＞23%）性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能，但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差，有效少数载流子寿命降低。分析认为HPT时间过长，H原子进入到a-Si:H（i）薄膜层中，导致薄膜内部SiH2增多，微结构因子（R）增大，薄膜质量变差。并且，适当时间的HPT改善太阳电池性能的幅度有限，而过长时间的HPT导致电池性能下降却很明显。因此，针对高效率的晶硅异质结太阳电池，应对钝化层沉积之后的HPT工艺进行谨慎控制。
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