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介绍了在Pt／Ti/Si(100)衬底上用溶胶溶液和喷雾热分解方法制备BaTiO3薄膜，并研究其PTC效应。富钛3％的钛酸钡溶胶溶液在衬底温度650℃环境下成膜，氧气作为载气其流量为1．5L／min，800℃环境下退火2h。在大于居里点温度Tc(138℃)时表现出良好的PTC效应。钛酸钡薄膜厚度1500nm时，室温下极间电阻为70Ω。在大于居里点温度Tc(138℃)时，极间电阻可达10^6Ω。