PECVD法制备氮化硅薄膜的电学性能研究

来源 :西南民族大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：liulangdetianya

【摘要】

：

以硅烷和氨气为前驱体，采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法制备了氮化硅（SiNx）薄膜．利用X射线光电子能谱和红外光谱，研究了在不同的硅烷／氨气流量比条件下，合成的氮化硅薄膜的组分和

【作者】

：

凌绪玉

【机构】

：

西南民族大学电气信息工程学院

【出处】

：

西南民族大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2013年4期

【关键词】

：

等离子增强化学气相沉积氮化硅薄膜电子材料电学性能 SiNx film PECVD electronic material electrical prope

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

以硅烷和氨气为前驱体，采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法制备了氮化硅（SiNx）薄膜．利用X射线光电子能谱和红外光谱，研究了在不同的硅烷／氨气流量比条件下，合成的氮化硅薄膜的组分和结构．结果表明：随着硅烷氨气流量比的增加，薄膜的氮硅原子比率增加：更多Si-N戍键态随着NH3／SiH4流量比的增加获得．I-V曲线展现了氮化硅薄膜的电学性能．

其他文献

新时代呼唤新担当新担当需要新作为

<正>中共中央办公厅《关于进一步激励广大干部新时代新担当新作为的意见》的出台,吹响了鼓励改革创新的号角,树立起支持干事创业的大旗,无疑是给新时代敢担当、善作为的干部

期刊

时代呼唤

在新课改下如何实现高中德育有效教学

德育教育的特点是从培养学生健全的人格、优良的品质着眼,从细微处着手,不断地强化、深化,通过潜移默化完成对学生的教育。目前的高中德育教育普遍存在枯燥乏味、内容空洞的

期刊

高中德育意义

强化知识积累弥补写作缺陷——如何使高考作文“材料丰富”

目前,中学生写作能力堪忧。究其原因,除了缺乏必要的写作技巧之外,最主要的是材料积累不够,即使有些学生通过不同的途径积累了一些材料,但由于不善于对所积累的材料进行整合

期刊

知识积累高考作文材料

现代文阅读讲评方法刍议

语文阅读试题的功利性使阅读教学的目标与价值发生了偏差,现代文阅读讲评不应仅着眼于解决问题,而应在阅读常态下,以对文学文本的观照态度,高屋建瓴地理清文本线索、感知文本

期刊

现代文阅读阅读常态文学视角

基于引力场模型的文本分类方法

随着IT业的发展，特别是互联网的应用普及，信息处理已成为人们获取有用信息不可或缺的一项关键技术，而自动文本分类技术又是信息处理的重要研究课题，它是指在预定义分类体系下，根据

学位

文本分类特征选择向量空间模型引力场模型虚核

PECVD法制备氮化硅薄膜的电学性能研究

其他学术论文