【摘 要】
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利用可调谐二极管激光吸收光谱技术对低气压氩气介质阻挡放电等离子体进行诊断,重点考察了Ar亚稳态1s5和1s3的数密度和气体温度随放电电压,气压,流量,极板间距,以及随N2配比
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院三束材料表面改性教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(10975029)资助
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利用可调谐二极管激光吸收光谱技术对低气压氩气介质阻挡放电等离子体进行诊断,重点考察了Ar亚稳态1s5和1s3的数密度和气体温度随放电电压,气压,流量,极板间距,以及随N2配比的变化情况。实验基于朗伯-比尔（Lambert-Beer）定律,通过计算吸收谱线的吸收峰面积求取Ar亚稳态的数密度,同时对谱线进行Voigt拟合得到多普勒展宽,进而求出气体温度。Ar亚稳态主要由电子碰撞产生,但同时电子也会碰撞亚稳态发生猝灭作用,从而使数密度减少;气体温度则与等离子体的实际功率、电子的状态以及粒子之间的碰撞有关。实验结
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