【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结构和光电性能影响。并用于薄膜晶体管（TFT）的
【机 构】
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上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室
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采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结构和光电性能影响。并用于薄膜晶体管（TFT）的有源层,制备的a-IGZO TFT,其具有明显的转移特性,其关态电流为10-11 A,退火能够改善a-IGZO TFT器件性能,器件的开关比提高了两个数量级。
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