用阴极溅射法制造窄带干涉滤光片用的装置

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介绍用阴极溅射法制造窄带干涉滤光片用的装置。讨论了在蒸镀过程中光电测量控制膜厚的简图。 A device for manufacturing a narrow-band interference filter by a sputtering method is described. The schematic diagram of controlling the film thickness by photoelectric measurement during the evaporation process is discussed.
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